先进制程大束流离子注入机系列 - 凯世通

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先进制程大束流离子注入机系列

Hyperion

Hyperion低能大束流离子注入机，基于国际领先的光路架构，凝聚多年工程经验，实现更高的束流传输效率与更稳定的工艺结果，能量范围0.2-60/80KeV。

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