产品系列：

iStellar-500
低能大束流离子注入机，采用“通用平台+关键技术模块”研发模式，坚持原创设计理念，凝结多年工程经验，束流传输效率高，能量范围0.2-60/80Kev；

iStellar-500C
低能大束流超低温离子注入机，基于iStellar-500束流系统，低故障率，高可靠性，实现-100℃超低温注入；

iStellar-500CIS
面向CIS的大束流离子注入机，基于已批量验证的iStellar通用注入平台与光路系统，设备成熟稳定具备卓越的金属污染控制、高精度注入角度控制等特点;

iStellar-500HT
低能大束流高温离子注入机，基于iStellar-500束流系统，实现RT(室温)250℃高温注入，适用于先进制程；