中束流离子注入机系列 - 凯世通

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中束流离子注入机系列

iKing 360系列
iking 360中能大束流离子注入机，单价能量360Kev,采用直流静电加速器，水平束流扫描，具有良好的金属污染控制和颗粒污染控制，最大束流强度较市场同类产品具有显著优势。

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