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氢离子注入机系列
氢离子注入机系列
iStellar-80H
大束流氢离子注入机，采用主流FAB产线批量量产验证的凯世通大束流离子注入机的基础架构，配置凯世通自主研发的大束流氢离子源，具备高可靠性、高产能等特点；
iStellar-500H
中高能氢离子注入机，采用主流FAB产线批量量产验证的凯世通istellar-HE2000的基础架构，配置凯世通自主研发的氢专用离子源，具备稳定性强、产能高等特点。
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