离子注入技术国际领先

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离子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂,从而改变其特性的工艺制程,在集成电路(IC)工业中得到广泛的应用。作为离子注入制程的装备—离子注入机,是先进IC生产线上最关键的工具之一,每年全球拥有15-20亿美金的市场规模。

与热扩散的掺杂技术相比,离子注入技术具有以下特点:单面准直掺杂、良好的掺杂均匀性和可控性、掺杂元素的单一性,而且很容易实现掺杂区域的图形化

这些特点给晶硅太阳能电池片的制造带来了热扩散所不具备的优势—不仅可形成高质量的PN结、提高电池的转换效率,而且可大大简化多种高效电池的制造工序:常规电池的生产可以省掉去磷硅玻璃和边缘刻蚀工艺;双面电池的生产则可免去掩膜工序;此外, 背接触电池所必需的分区掺杂可免去对准工序,这样便大幅度降低了此类电池的制造成本。离子注入是提高电池效率、制造高效电池最经济、最可靠地技术。

另外,由于省去了例如磷/硼扩散、去磷/硼硅玻璃以及边缘刻蚀等有毒排放工艺,所以离子注入又能显著降低电池片生产所造成的环境污染。

但是,IC离子注入机较低的生产率、昂贵的造价和庞大的占地面积,使得离子注入技术还没有在光伏产业上得以普及应用。上海凯世通半导体有限公司根据太阳能电池工艺的实际情况和需求,为光伏产业量身订制了大束流离子注入机—IonSolar™。在硅片的传输和离子束流系统上,IonSolarTM应用了多项拥有自主知识产权的突破性重大技术:单一注入元素的“帘状”宽幅离子束可无间断地“淋浴”到匀速传输的单晶硅片上,实现稳定、均匀的元素掺杂,并保证了高效的生产率和较低的制造成本,为太阳能电池的产线升级和高效电池的生产提供了一条有效途径。

IonSolar 特点:

• 生产率高
IonSolar拥有连续送片功能,单机产能可达1800片/小时,使得一条生产线只配备一台机器成为可能,完全实现与现有产线产能的良好匹配。

• 占地面积小
IonSolar占地22m2,在不更改现有生产线布局的前提下实现技术升级。

• 制程成本低
IonSolar™制程成本仅为同类产品的60%,投入低,投资回收周期短。


• 本土制造和服务
欧美质量标准,本土化服务,快速高效。

上海凯世通半导体有限公司由数位具有成功开发多代IC离子注入机经验的海外知名专家团队创立。我们建立了“一丝不苟,精益求精”的企业文化;我们实现了国际一流质量和性能的离子注入机的国产化;我们迈出了中国制造走上中国创造之路的重要一步!


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